第495章 贺同志,我还有救吗?
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这几天,除了周末陪着孩子出门逛了一天,其余时间,贺小满一直忙着维修光刻机。
这外国生产的高精度机械,比贺小满想像中还要难修很多,所以她每一步都异常认真。
原本计划皮天修好的仪器,最后还是用了整整一周。
长期待在昏黄的灯光下,贺小满揉了揉不舒服的眼睛,觉得好一些才放开手,继续手上的工作。
她右手正握着一把螺丝刀,快速扭动,直到再也扭不动贺小满才放下工具,深呼吸一口,又揉了揉胳膊,便站起来,准备重新做测试。
何群也拿着一摞做好处理的硅片走了过来,他见贺小满没有在拧螺丝,询问道:“贺同志,已经修好了?这是我处理好的硅片,一共有十片。”
本来应该更多的,但是预处理硅片的过程极其复杂,他就一个人根本无法完成这么重的任务。
贺小满点头道谢,轻声道:“准备连续曝光十片,中间不停机,不重新校准,不清洁掩模板,模拟真实生产情况。”
何群闻言连忙拿出本子和笔,准备一会做记录用。
第一片,贺小满进行装片,对焦,校准。
汞灯稳定地闪烁了二十秒之后,贺小满卸片,将东西递给何群。
何群麻利接过,拿到一旁进行显影,冲洗,吹干,之后便放在显微镜下面进行观察。
他看得很认真,进行了几次确认才颤抖着声音开口道:“第一片,图形完整,线条清晰,线宽15.1微米,贺同志在我们的误差范围内。”
贺小满没有接话,继续进行操作。
而何群从最开始详细地报出每一个数据,到后面只有简短的两个字:“合格。”
直到最后一片,何群没有再用简短的合格两个字来形容它。
郑重开口:“最后一片,图形完整,线条清晰,线宽15.0微米,贺同志连续曝光十片,中间没有停顿也没有失败片,你好像真的把仪器修好了。”
何群声音里面带着难以压制的惊喜。
他们电工厂
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第495章 贺同志,我还有救吗?
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